ballbet贝博体育★ღ◈,贝博ballbet体育★ღ◈,半导体保险元件★ღ◈,ballbet贝博网站官网★ღ◈!金融界2024年11月30日消息★ღ◈,国家知识产权局信息显示★ღ◈,上海积塔半导体有限公司申请一项名为“晶圆处理方法及晶圆处理装置”的专利ballbet中国官网★ღ◈,公开号 CN 119045284 A日本一卡二卡三卡不卡★ღ◈,申请日期为 2024 年 9 月日本一卡二卡三卡不卡★ღ◈。
专利摘要显示日本一卡二卡三卡不卡★ღ◈,本发明涉及一种晶圆处理方法及晶圆处理装置日本一卡二卡三卡不卡ballbet中国官网★ღ◈。所述晶圆处理方法包括如下步骤放置晶圆至处理腔室内★ღ◈;于所述处理腔室内向所述晶圆的表面涂布光刻胶★ღ◈;于所述处理腔室内向所述晶圆的边缘喷射溶胶剂ballbet中国官网★ღ◈,去除所述晶圆的边缘处的所述光刻胶ballbet中国官网★ღ◈。本发明减少甚至是避免了在晶圆的边缘出现光刻胶粘连拉丝现象日本一卡二卡三卡不卡★ღ◈,且提高了半导体制造效率ballbet中国官网ballbet中国官网★ღ◈,简化了半导体制造工艺日本一卡二卡三卡不卡日本一卡二卡三卡不卡★ღ◈。