富士康◈✿★,台湾积体电路◈✿★,贝博ballbet体育贝博◈✿★,光刻机市场规模约160亿美元◈✿★,3大龙头拥有95%市场◈✿★,国外EUV光刻机龙头为 ASML◈✿★、尼康◈✿★、佳能等◈✿★。
刻蚀设备市场规模约115亿美金◈✿★,海外前3大供应商拥有94%市场份额◈✿★,◈✿★。中微半导体是唯一打入台积电7nm制程的中国设备商四道口电影院◈✿★,北方华创的8英寸等离子蚀刻机进入中芯国际◈✿★,封装环节刻蚀机基本实现国产化◈✿★,国产化率近90%◈✿★。
CVD 主要厂商为日立◈✿★、Lam(泛林集团)贝博ballbet体育◈✿★、TEL(东京电子)◈✿★、AMAT(应用材料) 等占据超70%的市场◈✿★。PVD 被AMAT(应用材料)◈✿★、Evatec贝博ballbet体育◈✿★、Ulvac占据90%市场份额◈✿★;国内厂商北方华创实现28nm PVD设备的突破◈✿★,封装设备国产PVD市占率接近70%◈✿★。CVD中的MOCVD是目前中微半导体已取得重要突破贝博ballbet体育◈✿★,目前已有20%的国产化率贝博ballbet体育◈✿★。
离子注入机◈✿★:AMAT(应用材料) 拥有约70%以上的市场◈✿★,Axcelis Technologies拥有18%市场份额◈✿★,前三家包揽97%市场份额◈✿★。目前国内只有凯世通和中科信有离子注入机的研发生产能力◈✿★,17年凯世通已经销售太阳能离子注入机15台◈✿★。
清洗设备◈✿★:主要设备厂商SCREEN◈✿★、东京电子◈✿★、LAM合计占比88%◈✿★,目前国内的盛美半导体的SAPS产品已经进入一流半导体制造商产线◈✿★。北方华创整合Akrion后提供单片清洗和槽式清洗设备四道口电影院贝博ballbet体育◈✿★,已经进入中芯国际产线◈✿★。至纯科技已经取得湿法清洗设备的批量订单◈✿★,未来五年超过200台的订单◈✿★。
前端检测设备◈✿★,前三甲厂商科磊(KLA)市占率50%四道口电影院◈✿★、应用材料市占率12%◈✿★、日立高科技市占率10%◈✿★,这三者累积市占率72%◈✿★;
分选机厂商四道口电影院◈✿★,包括科林◈✿★、爱德万◈✿★、爱普生等市占率高达70%◈✿★;而探针台基本由东京精密◈✿★、东京电子◈✿★、SEMES垄断四道口电影院◈✿★。
国内厂商长川科技测试设备主要在中低端市场◈✿★,主要在数模混合测试机和功率测试机贝博ballbet体育◈✿★。其他包括上海睿励◈✿★、中科飞测◈✿★、上海精测半导体等◈✿★。
半导体设备国产化是产业升级的主要环节◈✿★,未来3年国内有超过20家FAB厂扩产或新建◈✿★,测算设备投资规模达760~830亿元◈✿★,目前设备平均国产化率仅5%~10%◈✿★,替代空间巨大◈✿★。政策◈✿★、资金等支持及国内需求有利于半导体产业链国产化的提速◈✿★,国内半导体设备产业有望从跟随走向超越贝博ballbet体育◈✿★,从国内迈向全球◈✿★,龙头公司迎来高速成长期四道口电影院◈✿★。
国内设备龙头企业与国际龙头企业的收入差距在50倍左右 (2亿美元VS 100亿美元)◈✿★,半导体产业逐步产业升级过程中◈✿★,国内半导体设备企业存在巨大成长空间◈✿★,重点关注各细分领域龙头公司◈✿★。
中微公司◈✿★:具备介质刻蚀四道口电影院◈✿★、TSV硅通孔刻蚀及 MOCVD 设备等能力◈✿★,多个产品进入世界先进行列◈✿★;
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