ASML是一家总部位于荷兰的◈ღ★、大型半导体曝光设备厂家◈ღ★。员工约为2万5,000名dabomei◈ღ★，其中9,500名为研发（R&D）工程师◈ღ★，2019年销售额为118亿欧元（约人民币944亿元）◈ღ★，其中20亿欧元（约人民币160亿元）用于研发◈ღ★。
在半导体生产设备行业dabomei◈ღ★，5G◈ღ★、IoT相关元件带动半导体需求持续稳健增长◈ღ★。尽管新冠肺炎限制了半导体人员的流动◈ღ★，在远程办公等因素的带动之下◈ღ★，数据中心快速发展◈ღ★，半导体生产设备行业几乎未受到疫情影响◈ღ★，保持持续增长贝博体育◈ღ★。
就新冠肺炎对业务的影响情况◈ღ★，藤原先生表示◈ღ★：“中国客户的出货受到了延误◈ღ★，此外新型曝光设备【NXE:3400C】因供应链的影响而被推迟发售◈ღ★。此外◈ღ★，也有不进行出货前的最终检查就出货的情况”◈ღ★。但是◈ღ★，几乎没有对业绩造成影响贝博体育◈ღ★，在2020年7月公布的2020财年第二四半期（4月-6月）财报中贝博体育◈ღ★，销售额去年同比增长约30%◈ღ★。年度业绩预计也会也十分顺利◈ღ★，“整年的业绩预计会出现两位数的增长”（藤原先生）◈ღ★。
尽管曝光设备的业务订单不少◈ღ★，但是由于新冠肺炎限制人员流动◈ღ★，无法为客户导入和安装◈ღ★，导致ASML无法派出熟练技术人员到客户处◈ღ★。于是◈ღ★，ASML开始强化远程支援以应对新冠肺炎事件◈ღ★。
藤原先生表示贝博体育◈ღ★，我们一直都在使用远程支援◈ღ★，之前是连接用户端设备与全球支援中心◈ღ★，以获取信息◈ღ★、进行监视和管理◈ღ★。主要是用来分析判断◈ღ★。由于无法派遣工程师◈ღ★，因此如何远程指挥专业性作业成为了一大问题◈ღ★。于是◈ღ★，开始利用MR（Mix Reality ◈ღ★，混合现实）设备“Microsoft HoloLens（以下简称为‘HoloLens’）”贝博体育◈ღ★，对现场的实际作业支援◈ღ★，并积极推广贝博体育◈ღ★。
ASML的熟练技术员与现场的佩戴了HoloLens的作业员连线◈ღ★，指挥现场作业员安装◈ღ★、改造设备等作业的情景（图片来源◈ღ★：ASML）
据说ASML已经在亚洲◈ღ★、北美◈ღ★、欧洲等地使用了75副（甚至更多）HoloLens眼镜◈ღ★，藤原先生表示◈ღ★，在日本也有多家客户在使用HoloLens◈ღ★，它可以直接支援实际作业贝博体育◈ღ★，因此与传统的远程支援有很大不同◈ღ★。预计未来MR设备也会有进一步的技术进步◈ღ★，未来会有更多的领域可以使用远程支援◈ღ★。
此外◈ღ★，森崎先生就技术动向颇受人们关注的EUV曝光设备dabomei◈ღ★，做了说明◈ღ★。森崎先生介绍了三星电子等其他公司用EUV曝光设备生产的半导体被应用在终端产品的事例◈ღ★，还强调EUV曝光设备的使用范围在逐步扩大◈ღ★：“使用EUV曝光设备的半导体已经进入到我们的生活中”◈ღ★。
实际上ASML正在扩大导入名为“NXE 系列”的EUV曝光设备◈ღ★，从各季度来看◈ღ★、销售数量呈增长趋势◈ღ★。ASML在2020年第一季度导入了57台贝博体育◈ღ★，第二季度达66台◈ღ★。据说用EUV生产的晶圆数量也累计达到1,100万个◈ღ★。森崎先生表示◈ღ★：“虽然人们认为EUV曝光设备是属于未来的◈ღ★，其实它已经步入了可以作为实际产品使用的阶段”◈ღ★。
另一方面◈ღ★，其实EUV曝光设备也存在很多课题◈ღ★，其中最大的问题是稳定性◈ღ★。森崎先生指出◈ღ★，排在前10%的设备的生产率为90%左右◈ღ★，所有设备的平均生产率为85%左右◈ღ★，排在后面10%的设备的生产率差异更大◈ღ★。据说客户的普遍呼声是“希望设备能运作的更顺畅一些”◈ღ★。为了减少设备之间的差异◈ღ★，ASML正在努力使生产率的平均值达到90%以上◈ღ★。不仅要提高单个设备dabomei◈ღ★、零部件的精度◈ღ★，也要推进光源模组的升级◈ღ★、研发持续供锡的构造等dabomei◈ღ★。据说ASML也在推进减少设备的停机时间◈ღ★、增加稼动时间◈ღ★。
此外◈ღ★，当下正在推进的“NXE系列”的光学开口率（NA）为0.33◈ღ★，主要面向7纳米和5纳米◈ღ★。在ASML实现3纳米过程中◈ღ★，由于利用现有技术无法再提高分辨率◈ღ★，因此正在筹备开口率为0.55的“HiNA”产品产线◈ღ★。已经完成了设计◈ღ★，正在进行具体研发◈ღ★。开口率为0.55的产品被命名为“EXE系列”◈ღ★，用于R&D的出货预计在2022年◈ღ★，量产出货预计在2024年◈ღ★。
森崎先生解释了“0.55 NA Platform”的意义◈ღ★，“可以简化工艺◈ღ★、提高性能◈ღ★，与多重图案（Multi-patterning）相比◈ღ★，可削减50%的成本”◈ღ★。
另一方面◈ღ★，森崎先生提及了研发的难度◈ღ★，“虽然我们现在正以光学系列为中心进行研发◈ღ★，但也在考虑同时实现大型化和高精度的对策◈ღ★，打个比方◈ღ★，如同把日本国土的管理精度提升至头发丝的精度”◈ღ★。此外◈ღ★，由于仅用EUV曝光设备还无法做出新的平台环境◈ღ★，因此◈ღ★，ASML的方针是与基建厂家合作共同构筑新的平台环境◈ღ★。BALLBET全站app◈ღ★！贝博ballbet体育◈ღ★。半导体核心技术半导体连接器ballbet贝博体育app
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